● マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用 のレビュー・感想
【おすすめ度】:
【タイトル】: 入門だがそれなりに難しい
【コメント】: 「マイクロマシン」もしくは「MEMS」と言っても、様々な分野がある。
例えば、
○ アクチュエータ
○ センサ
○ 光
○ バイオ・化学
…etc。
本書は、こういった様々な分野のマイクロマシン技術を紹介している一冊である。幅広い分野について書かれているという意味では貴重な一冊なのかもしれない。
それで、気になる難易度はというと。確かに、入門〜基礎レベルと言ったところであろ...