● プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ) のレビュー・感想
【おすすめ度】:
【タイトル】: 高周波放電の基礎として
【コメント】: 　プラズマを学ぶ人なら一度はこの本を目にしているはず。
　プラズマの基礎特性から産業応用まで一通りカバーしてます。
特に高周波放電(RF)については、DC放電よりもページ数を割いて説明してあり、
アンテナ結合の考え方から、CCPとICPについて、そして表面波やECRやヘリコンまで
載っています。特にCCPは自己バイアスや加熱モードについて詳しく載っているので、
スパッタやエッチングなどCCPをよ...

● プラズマエレクトロニクス (インターユニバーシティ) のレビュー・感想
【おすすめ度】:
【タイトル】: プラズマを始める第一ステップとなりうる
【コメント】: ～プラズマ関係の書籍としては、とっつきがよい。他の専門性を突き詰めた書籍と
異なり、最初のステップを踏み出すための内容といえる。内容としてはプラズマ
自体の解説から始まり、各種放電の特徴や理論数式、その導出など十分詳説され
ており、応用に関しても触れられている。

学生・社会人に限らず、プラズマ技術に関わる上での第一ステップとして必要
～～
十分だと思う。～